Filtracja

Entegris dostarcza rozwiązania do filtracji oparte na różnych technologiach medialnych, kryteriach wydajności jak również usługi analityczne do wykrywania zanieczyszczeń w środowisku technologicznym oraz analizy/zatwierdzania materiałów.

Filtracja gazu

Technologie filtracji niklu, stali nierdzewnej oraz Teflon®. Produkty filtracji gazu Entegris to filtracja ponad 0.003 mikronów z zastosowaniem ultraczystego gazu.  Filtry gazowe Wafergard® umożliwiają większą przepustowość gazu przy jednoczesnym zmniejszeniu ilości zasobów skrzynki gazowej. Produkty do filtracji ultraczystego gazu Entegris są używane przez wszystkich głównych producentów półprzewodników OEM oraz producentów urządzeń w etch, CVD, PVD, w implantacji narzędzi jonów, jak również inne wysoce wydajne zastosowania w: fotowoltaicznych, płaskich wyświetlaczach, urządzeniach przechowujących dane oraz HBLED (diody o wysokiej jaskrawości), life science i bateriach jonowo-litowych. Entegris wykorzystuje filtry gazowe do wirówek gazowych, aby oczyścić gazy z zanieczyszczeń molekularnych.

Filtracja cieczy

Kontrola zanieczyszczenia cieczy. Kontrola zanieczyszczeń stale się rozwija, pozwala na rozwój technologiczny oraz poprawę wydajności w produkcji półprzewodników, płaskich ekranów, urządzeń do zbierania danych, komórek fotowoltaicznych, w life science oraz produkcji baterii litowo-jonowych. Zawiesiny CMP, kwasy, zasady, fotochemia i woda DI wymagają filtracji w celu usunięcia wadliwych cząstek przed dostaniem się do wafla lub powierzchni podłoża. Entegris zapewnia pełną linię filtrów do kontroli zanieczyszczeń, które spełniają oczekiwania naszych klientów.